W metodzie próżniowej gaz testowy jest wdmuchiwany na ścianę ewakuowanej próbki od strony atmosfery. Dostaje się do próbki w miejscu nieszczelności i jest podawany do detektora nieszczelności. Próbka musi być odporna na podciśnienie. Przechodzą stopnie czułości GROSS — FINE — ULTRA. Granica wykrywalności jest niższa niż w metodzie wąchania. Stężenie helu w miejscu wycieku musi być znane w celu ilościowego określenia wycieku. Na stan równowagi trzeba poczekać.