Zalety:
Ta seria pomp ma dobrą wydajność w trudnych warunkach środowiskowych (wysoka temperatura, kurz itp.), Stabilna wydajność i długa żywotność, a także prosta konserwacja i wygodna obsługa.
Aplikacje:
Główne zastosowania to wykrywanie wycieków w przemyśle, PVD, CVD, implantacja jonów, próżniowa produkcja komponentów elektronicznych, szkło niskoemisyjne, szkło ITO, powłoka optyczna, ogniwa słoneczne, spawanie wiązką elektronów, piec próżniowy i inne gałęzie przemysłu
Dane techniczne:
Kołnierz (In) | DN400 ISO-K | Gaz w całym sccm) | N2:5500 |
Kołnierz, wyjście, KF, | DN100 | On: 4000 | |
Prędkość pompowania (L/s) | N2:3500 | H2:3200 | |
On: 2650 | Ar: 2100 | ||
H2:1280 | Prędkość obrotowa ( obr/min) | 13500 | |
Ar: 3200 | Czas rozruchu (min) | ≤18 | |
Stopień sprężania | N2:108 | Typ chłodzenia, standardowy | Woda |
On: 103 | Zużycie wody chłodzącej ( l/min) | ≥1 | |
H2:102 | Temperatura wody chłodzącej (℃) | ≤25 | |
Ar:108 | Połączenie zasilania: napięcie (V AC) | DC24/AC220 | |
Ostateczne ciśnienie ((Pa) | 6×10-6 | Maksymalny pobór mocy (W) | ≤1100 |
Maks. Ciągłe ciśnienie wstępnej próżni (Pa) | 100 | Model kontrolera | FD-III |
Maks. Ciśnienie wstępnej próżni | N2:300 | Waga (kg) | 130 |