Magnetycznie lewitowana pompa, CXF-320/3001E, chłodzenie wodne, ISO-F, na pokładzie

Krótki opis:

Łożysko elektromagnetyczne jest również nazywane „aktywnymi magnetycznymi lewitującymi niedźwiedziami”, składającymi się z łożyska magnetycznego, czujnika i układu sterowania. Ta konstrukcja charakteryzuje się dynamiczną reakcją i terminową regulacją, szybkim wałem i niezawodnym działaniem.


Szczegóły produktu

Tagi produktów

Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest wspierany siłą magnetyczną.
Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych to urządzenia do generowania próżni opracowane przez KYKY w celu spełnienia wymagań aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych.

Zalety:

1. Zero tarcia podczas pracy i niskie zużycie energii
2. Łatwy do uzyskania naprawdę czystej wysokiej próżni i ultrawysokiej próżni bez smarowania pomp
3. Zdolne do ekstrakcji gazów korozyjnych przez długi czas
4. Wysokie bezpieczeństwo i długa żywotność dzięki ochronie łożysk precyzyjnymi kulkami ceramicznymi
5. funkcja generowania energii w przypadku nagłego wyłączenia zasilania;
6. Bez tarcia
7. Wolne od zanieczyszczeń
8. Bez konserwacji!
9. Niskie wibracje
10. zainstalowany w dowolnej orientacji.

Aplikacje:

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji klipsów, powlekania przemysłowego i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących w trawieniu, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.

Dane techniczne:

Model CXF-320/3001E
Prędkość pompy (l/s, powietrze) 3200
Stopień sprężania >1×108
Maksymalna próżnia (Pa) ≤5×10-7
Kołnierz wlotowy ISO-F 320
Kołnierz wylotowy KF 40
Prędkość obrotowa (rpm) 24000
Czas rozruchu (min) 12
VIB (mm) <0,05
Pompa wspomagająca (l/s) 15
Montaż lub orientacja Każdy
Metoda chłodzenia Woda
Waga (kg) (z kontrolerem) 75

Technologie:

  • Technologia sterowania dla łożyska magnetycznego: 5-osiowa magnetycznie lewitowana, oparta na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, aby zagwarantować tak znaczące zalety szybkich wałów, jak stabilna lewitacja i niezawodna praca.
  • Technologia sterowania napędem silnika: Wysokowydajny szybki silnik prądu stałego i system sterowania serwo, posiadający maksymalną energię silnika i automatycznie kompensujący prędkość obrotową wału, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodną pracę i funkcję automatycznej regulacji energii dynamicznej.
  • Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego: Wykonany z mieszanki wysokowytrzymałego stopu aluminium i lekkiego włókna węglowego. charakteryzuje się dużą redukcją masy i dużą poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele wysokiej prędkości obrotowej, wysokiej wydajności i wysokiej niezawodności.
  • Technologia odporna na korozję: Powierzchnie części w komorach są poddawane specjalnej obróbce, dzięki czemu powierzchnie przez długi czas są odporne na korozję powodowaną przez gazy korozyjne w procesach wytwarzania półprzewodników. Ponadto, w wałach pomp są całkowicie wypełnione gazy obojętne, takie jak N2, aby chronić części pomp o niskim podciśnieniu, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego odprowadzania gazów korozyjnych przez długi czas.
  • System kontroli temperatury ogrzewania: wyposażone w grzałkę elektryczną i regulator temperatury, woda chłodząca, ogrzewanie powietrzno-kostne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompach może być utrzymywana na pewnej wartości przez długi czas, niektóre w stanie gazowym substancje nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a wymagania dotyczące specjalnego procesu, takiego jak trawienie, mogą być spełnione.

  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Napisz tutaj swoją wiadomość i wyślij ją do nas

    Kategorie produktów