Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest wspierany siłą magnetyczną.
Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych to urządzenia do generowania próżni opracowane przez KYKY w celu spełnienia wymagań aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych.
Zalety:
1. Zero tarcia podczas pracy i niskie zużycie energii
2. Łatwy do uzyskania naprawdę czystej wysokiej próżni i ultrawysokiej próżni bez smarowania pomp
3. Zdolne do ekstrakcji gazów korozyjnych przez długi czas
4. Wysokie bezpieczeństwo i długa żywotność dzięki ochronie łożysk precyzyjnymi kulkami ceramicznymi
5. funkcja generowania energii w przypadku nagłego wyłączenia zasilania;
6. Bez tarcia
7. Wolne od zanieczyszczeń
8. Bez konserwacji!
9. Niskie wibracje
10. zainstalowany w dowolnej orientacji.
Aplikacje:
Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji klipsów, powlekania przemysłowego i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących w trawieniu, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.
Dane techniczne:
Model |
CXF-320/3001E |
Prędkość pompy (l/s, powietrze) |
3200 |
Stopień sprężania |
>1×108 |
Maksymalna próżnia (Pa) |
≤5×10-7 |
Kołnierz wlotowy |
ISO-F 320 |
Kołnierz wylotowy |
KF 40 |
Prędkość obrotowa (rpm) |
24000 |
Czas rozruchu (min) |
12 |
VIB (mm) |
<0,05 |
Pompa wspomagająca (l/s) |
15 |
Montaż lub orientacja |
Każdy |
Metoda chłodzenia |
Woda |
Waga (kg) (z kontrolerem) |
75 |
Technologie:
- Technologia sterowania dla łożyska magnetycznego: 5-osiowa magnetycznie lewitowana, oparta na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, aby zagwarantować tak znaczące zalety szybkich wałów, jak stabilna lewitacja i niezawodna praca.
- Technologia sterowania napędem silnika: Wysokowydajny szybki silnik prądu stałego i system sterowania serwo, posiadający maksymalną energię silnika i automatycznie kompensujący prędkość obrotową wału, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodną pracę i funkcję automatycznej regulacji energii dynamicznej.
- Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego: Wykonany z mieszanki wysokowytrzymałego stopu aluminium i lekkiego włókna węglowego. charakteryzuje się dużą redukcją masy i dużą poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele wysokiej prędkości obrotowej, wysokiej wydajności i wysokiej niezawodności.
- Technologia odporna na korozję: Powierzchnie części w komorach są poddawane specjalnej obróbce, dzięki czemu powierzchnie przez długi czas są odporne na korozję powodowaną przez gazy korozyjne w procesach wytwarzania półprzewodników. Ponadto, w wałach pomp są całkowicie wypełnione gazy obojętne, takie jak N2, aby chronić części pomp o niskim podciśnieniu, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego odprowadzania gazów korozyjnych przez długi czas.
- System kontroli temperatury ogrzewania: wyposażone w grzałkę elektryczną i regulator temperatury, woda chłodząca, ogrzewanie powietrzno-kostne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompach może być utrzymywana na pewnej wartości przez długi czas, niektóre w stanie gazowym substancje nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a wymagania dotyczące specjalnego procesu, takiego jak trawienie, mogą być spełnione.